Processing challenges in the fabrication of advanced MEMS

A. Kornblit, V. A. Aksyuk, G. R. Bogart, C. Bolle, J. E. Bower, R. A. Cirelli, E. Ferry, L. Fetter, A. Gasparyan, D. S. Greywall, R. C. Keller, F. P. Klemens, W. Y.C. Lai, O. D. Lopez, W. M. Mansfield, J. F. Miner, C. S. Pai, F. Pardo, S. Pau, M. E. SimonT. Sorsch, J. A. Taylor, D. M. Tennant, G. P. Watson

Research output: Contribution to conference › Paper › peer-review